フォトリソグラフィ装置とはフォトリソグラフィ装置とは、感光材を塗布したシリコンウエハーや基板に、光や電子ビームなどを用いて微細な回路・構造パターンを形成する製造装置である。半導体の微細化、AI向け先端チップの生産、先端パッケージングの高度化を背景に、フォトリソグラフィ装置市場は拡大が見込まれる。フ...
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