株式会社 東芝【東芝】高低差がナノスケールの極微小な欠陥をワンショットで3D形状に可視化する光学検査技術を開発 -独自の光学機器とアルゴリズムで、半導体製造における極微小な欠陥を1枚の撮像画像から瞬時に識別-

2025.02.26 11:18
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2025年2月26日株式会社 東芝東芝情報システム株式会社高低差がナノスケールの極微小な欠陥をワンショットで3D形状に可視化する光学検査技術を開発-独自の光学機器とアルゴリズムで、半導体製造における極微小な欠陥を1枚の撮像画像から瞬時に識別-概要 株式会社東芝(以下、東芝)と東芝情報システム株式会社(以下...

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