島津、“半導体装置”商機に即応 真空ポンプの生産倍増

2025.03.04 5:09
Nikkan.co.jp

【京都】島津製作所は秦野工場(神奈川県秦野市)で半導体製造装置向けターボ分子ポンプ(TMP)の生産能力を倍増する。AI(人工知能)向け半導体の需要が逼迫(ひっぱく)し、半導体装置各社には増産要請が相次...

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