중국 첨단 반도체 자립 성공? 中 SMIC, EUV 장비 없이 5나노 공정 개발 성공

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출처: SMIC 홈페이지
중국 반도체 파운드리 업체 SMIC가 극자외선(EUV) 노광장비 없이
첨단 5나노(nm) 공정 개발에 성공한 것으로 전해졌다.
24일(한국시간) 해외 매체 기즈모차이나는 반도체 전문가 윌리엄
후오(William Huo)를 인용해 이 소식을 보도했다.
일반적으로 5나노 이하의 첨단 공정에는 네덜란드 ASML의 EUV
노광장비가 필수로 여겨지지만, SMIC는 심자외선(DUV) 장비 기반의 자체 공정으로
이를 우회한 것으로 보인다.…