東エレク、宮城にエッチング装置の新開発棟 高性能の半導体対応

2025.04.25 5:06
Nikkan.co.jp

東京エレクトロンはエッチング装置の開発・製造拠点「東京エレクトロン宮城」(宮城県大和町)に開発棟を新設した。生成AI(人工知能)など、高性能な半導体に合わせたエッチング装置の開発需要に応える。現状比2...

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