発表のポイント：光通信用デバイスに用いる半導体薄膜の成膜条件（原料ガス量）を、半導体物性の知識を取り入れた機械学習により自動導出する手法を実現しました。本手法は、目的とする組成の半導体薄膜を効率的に成膜でき、光通信用デバイスの製造コストの削減や、同デバイスの製造業務のDigital Transformation (DX)...
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