光学戦線 露光装置メーカーの戦略(下)ASML日本法人社長・藤原祥二郎氏

2025.09.11 5:33
Nikkan.co.jp

半導体露光装置の最大手、蘭ASMLはAI(人工知能)投資を捉える。主力の極端紫外線(EUV)露光装置の販売に加え、フッ化アルゴン(ArF)液浸露光装置も伸びる。日本においては、先端半導体の量産を目指す...

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