非接触光学式表面形状計非接触光学式表面形状計とは、試料表面に物理的に接触することなく、光学原理（干渉法、共焦点法、白色光干渉など）を用いて表面の三次元形状や粗さを高精度に測定・解析する装置である。半導体、精密機械、材料科学などの分野において、微細構造の評価や品質管理に広く利用される。非接触光学式...
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