SiC & GaNウェーハ欠陥検査装置の役割と特性SiC & GaNウェーハ欠陥検査装置とは、シリコンカーバイド（SiC）および窒化ガリウム（GaN）ウェーハの微細欠陥を高精度で検出・解析する先端装置である。半導体パワーデバイスや高周波デバイスの製造において、微小な欠陥も性能や信頼性に直結するため、欠陥検査は不可欠であ...
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