電子ビーム計測・検査装置とは電子ビーム計測・検査装置は、半導体製造工程における歩留まり向上と品質保証を担う中核設備であり、設計検証からウェーハ製造、最終検査まで幅広い工程で利用される。特にフロントエンド工程では、膜厚、臨界寸法（CD）、オーバーレイ誤差、表面欠陥などを高精度に測定し、微細化プロセス...
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