NTT株式会社AI for Scienceで実現する、次世代のAI駆動型ラボ ~ロボットと機械学習による自律実験から、人が理解・転用できる半導体成膜ルールを創出~

2026.08.25 15:03
CNET

発表のポイント:AIとロボット技術を連携した自律成膜基盤により、成膜・評価サイクルを従来の約3倍に高速化し、ウルトラワイドギャップ半導体β-Ga₂O₃(β型酸化ガリウム)の高品質な単結晶薄膜の作製に成功しました。さらに、最適条件だけでなく、人が理解・転用できる成膜ルールも抽出しました。本基盤は自...

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